รายละเอียดสินค้า

เซ็นเซอร์กำหนดพื้นที่เวเฟอร์จะใช้ไฟ LED ที่ปลอดภัย

[คุณสมบัติ]
· ชนิดไฟ LED เน้นความปลอดภัย: เซ็นเซอร์กำหนดพื้นที่แบบเลเซอร์ทั่วไปจะ ใช้แสงเลเซอร์ที่ส่องผ่าน FOUP จากด้านในของตัวเซ็นเซอร์ ซึ่งจะทำให้ผู้ใช้มีความเสี่ยงที่จะโดนแสงดังกล่าวสัมผัสโดยตรง
· รุ่น M-DW1 ใช้ไฟ LED เป็นแหล่งกำเนิดแสง
· รักษาความปลอดภัยของผู้ใช้งาน
· สามารถตรวจจับเวเฟอร์ฟิล์มไนไตรดได้: ฟิล์มไนไตร์มีคุณสมบัติดูดซับแสงที่มีความยาวคลื่นบางความยาวได้ ซึ่งความสามารถในการดูดซับความยาวคลื่นจะขึ้นอยู่กับความหนาฟิล์มของฟิล์มไนไตรด์
· ดังนั้น สำหรับเซ็นเซอร์ที่ใช้แสงเลเซอร์ที่มีความยาวคลื่นเดี่ยว แสงทั้งหมดจะถูกดูดซับและจะทำให้ไม่สามารถถูกตรวจจับได้ในบางกรณี
· ในทางกลับกัน แหล่งไฟ LED จะมีช่วงความยาวคลื่นของแสงกว้าง จึงทำให้สามารถตรวจจับเวเฟอร์ฟิล์มไนไตรด์ได้อย่างเสถียร
· มีอัตราการตอบสนองเร็วที่ 0.5 ms
· การตอบสนองความเร็วสูงและความแม่นยำสูงรองรับการใช้งานขนาดใหญ่
· สามารถตรวจจับเวเฟอร์กระจกได้เช่นกัน เนื่องจากรุ่น M-DW1 จะสามารถตรวจจับตำแหน่งของแสงที่สะท้อนได้ จึงทำให้มีสมรรภาะที่พอเหมาะ ไม่ว่าแสงจะมีขนาดใหญ่หรือน้อยก็ตาม
· สามารถตรวจจับเวเฟอร์กระจกได้เช่นกัน