สเปค พื้นฐาน

• ประเภทผลิตภัณฑ์

  ถาดพาหะนำโรค

• เส้นผ่านศูนย์กลาง เวเฟอร์(มิลลิเมตร)

  300

• ชื่อ ผลิตภัณฑ์ ผู้ผลิต

  ผู้ให้บริการ เวเฟอร์ FOUPKT-3003

• รุ่น ผู้ผลิต

  KT-3003

• ปริมาณที่จัดเก็บได้(แผ่น)

  26

• D1(มิลลิเมตร)

  44

• พิทช์ Groove(มิลลิเมตร)

  10

• สเปค

  เป็น สอดคล้องตามมาตรฐาน มาตรฐาน SEMI

• คุณสมบัติ

  การปิดฝา / ตัวเครื่อง จะเพิ่มขึ้นเป็นสองเท่าเพื่อป้องกันการซึมผ่านของอนุภาค

• คุณสมบัติ 2

  วัสดุ นำไฟฟ้าใช้สำหรับชิ้นส่วนหลักเสริมพื้นที่ยึดของตัวเครื่องหลักและหน้าแปลนด้านบน

• ความจุ

  1 หน่วย