เซนเซอร์วัดแรงดันเกจแบบ MEMS

[คุณสมบัติ]
มีขนาดเล็กและการใช้พลังงานต่ำ
· คุณสมบัติทางไฟฟ้าที่เหนือกว่าในช่วงแรงดัน -50 kPa ถึง 50 kPa
แรงดันออฟเซ็ท -2.5±4.0 mV
แรงดันสแปน 42.0±5.5 mV
(ที่ความดันพิกัด 50 kPa, กระแสไฟเลี้ยง 100 µADC)
· แพ็กเกจขนาดเล็ก 6.1 × 4.7 × 8.2 มม. (ย × ก × ส)
· มีความเสถียรต่ออุณหภูมิที่ดีในช่วง 0 ถึง 85°C ที่ความดันที่กำหนด 0 ถึง 50 kPa
อิทธิพลของอุณหภูมิต่อสแปน ±3.0%FS
อิทธิพลของอุณหภูมิต่อออฟเซ็ท ±5.0%FS
(กระแสไฟเลี้ยง 100 µADC)
· อัตราการใช้พลังงาน: 0.2 mW