วาล์วอลูมิเนียมมุมสุญญากาศสูง, ชนิดแมนนวล, ซีลเบลโลว์, ซีรีส์ XLH

ข้อควรระวัง
- ■ ไลน์สินค้า SMC
หน้าเว็บสินค้าที่ยังไม่มีหน้าเว็บเป็นของตัวเองบนเว็บไซต์นี้ จะเผยแพร่ในรูปแบบเพิ่มแยกเข้าไป
■ สินค้าที่วางแผนจำหน่ายออนไลน์
หน้าสินค้าที่เกี่ยวข้องกับกระบอกลมจะเผยแพร่บนเว็บไซต์นี้ในรูปแบบเพิ่มแยกเข้าไป
ชนิด CQ2/MG และอื่น ๆ มีวางจำหน่ายแล้ว
*หน้าสินค้าอุปกรณ์สุญญากาศ, FRL, โซลินอยด์วาล์ว ฯลฯ จะเผยแพร่บนหน้าเว็บเฉพาะในรูปแบบเพิ่มแยกเข้าไป
*ข้อมูลข้างต้นถูกต้อง ณ เดือนธันวาคม 2018 (พ.ศ. 2561) - ภาพสินค้าเป็นเพียงภาพตัวอย่างเท่านั้น โปรดดูรายละเอียดด้านรูปทรงในแค็ตตาล็อกของผู้ผลิต
รายละเอียดสินค้า
วาล์วอลูมิเนียมมุมสุญญากาศสูงที่มีโครงสร้างความดันสมดุล ที่ช่วยให้ทิศทางระบายไม่ถูกจำกัด
[คุณสมบัติ]
· เบลโลว์ชนิดสะอาดและปลอดฝุ่น
· แรงบิดในการกระตุ้นต่ำ (0.5 N⋅m หรือน้อยกว่า)
· สปริงช่วยให้เกิดโหลดซีลมาตรฐาน
· ความสูงของมือจับจะคงเดิมไม่ว่าวาล์วจะเปิดหรือปิดก็ตาม
· มีไฟบอกสถานะติดตั้งเป็นมาตรฐานเพื่อยืนยันว่าวาล์วเปิดหรือปิด
· ปล่อยก๊าซระดับต่ำ สามารถใช้ได้กับปั๊มขนาดเล็กและช่วยลดจำนวนครั้งในการปล่อยไอเสีย
· ไม่มีโลหะหนักเช่น Ni (นิกเกิล) หรือ Cr (โครเมี่ยม)
· อัตราการสปัตเตอร์ต่ำช่วยลดการปนเปื้อนของโลหะหนักในแผ่นเวเฟอร์
รายละเอียดจำเพาะของวาล์วอลูมิเนียมมุมสุญญากาศสูง, ชนิดแมนนวล, ซีลเบลโลว์, ซีรีส์ XLH

ลักษณะภายนอกของซีรีส์ XLH
| รุ่น | XLH-16 | XLH-25 | XLH-40 | XLH-50 | |
|---|---|---|---|---|---|
| ของเหลว | สุญญากาศแก๊สเฉื่อย | ||||
| อุณหภูมิใช้งาน ( °C) | 5 ถึง 150 | ||||
| ความดันขณะใช้งาน Pa (abs) | 1 × 10-6 ถึงความดันบรรยากาศ | ||||
| Conductance L/sหมายเหตุ 1: | 5 | 14 | 45 | 80 | |
| ปริมาณการรั่วไหล Pa·m3/s | ภายใน | สำหรับวัสดุมาตรฐาน (FKM): 1.3 × 10-10, ค่าที่อุณหภูมิปกติและไม่รวมการซึมผ่านของแก๊ส | |||
| ภายนอก | สำหรับวัสดุมาตรฐาน (FKM): 1.3 × 10-11, ค่าที่อุณหภูมิปกติและไม่รวมการซึมผ่านของแก๊ส | ||||
| ชนิดหน้าแปลน | KF (NW) | ||||
| วัสดุหลัก | บอดี้หลัก: อลูมิเนียมอัลลอย, เบลโลว์: SUS316L, ชิ้นส่วนหลัก: สแตนเลส, FKM (วัสดุซีลมาตรฐาน) | ||||
| กระบวนการชุบผิว | ภายนอก: อลูมิเนียมชุบฮาร์ดอโนไดซ์, ภายใน: วัสดุฐาน | ||||
| แรงบิดกระตุ้น N⋅m | 0.1 ≤ | 0.15 ≤ | 0.35 ≤ | 0.5 ≤ | |
| การหมุนมือจับ | 5 | 7 | 10 | 13 | |
| น้ำหนัก (กก.) | 0.23 | 0.41 | 1.05 | 1.62 | |
หมายเหตุ 1: Conductance เหมือนกับข้องอที่มีขนาดเท่ากัน
หมายเหตุ 2: สำหรับรายละเอียดจำเพาะของวาล์วฮีทเตอร์โปรดดู "อุปกรณ์เสริมฮีทเตอร์ (1) ทั่วไป" ในแค็ตตาล็อกของผู้ผลิต
Drawing สินค้า
(หน่วย: มม.)

Drawing ระบุขนาดของซีรีส์ XLH
| รุ่น | A | B | C | D | E หมายเหตุ 1: | F | G | H |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| XLH-16 | 40 | 100.5 | 38 | 1 | — | 30 | 17 | 35 |
| XLH-25 | 50 | 114 | 48 | 1 | 12 | 40 | 26 | 41 |
| XLH-40 | 65 | 162.5 | 66 | 2 | 11 | 55 | 41 | 57 |
| XLH-50 | 70 | 179.5 | 79 | 2 | 11 | 75 | 52 | 70 |
หมายเหตุ 1: ใช้ขนาด E เมื่อรวมอุปกรณ์เสริมฮีทเตอร์ (ความยาวสายไฟ: ประมาณ 1 ม.)
หมายเหตุ 2: A, B และ C ในรูปด้านบนระบุตำแหน่งการติดตั้งฮีทเตอร์ตำแหน่งการติดตั้งฮีทเตอร์แตกต่างกันไปตามชนิดของฮีทเตอร์ โปรดดูรหัสสินค้าชิ้นส่วนฮีทเตอร์และตำแหน่งการติดตั้งในแค็ตตาล็อกของผู้ผลิต
แผนภาพสินค้า

แผนภาพของซีรีส์ XLH
*โปรดดูแค็ตตาล็อกของผู้ผลิตสำหรับชิ้นส่วนซ่อมบำรุง
หลักการทำงานของสินค้า
เปิดวาล์วโดยหมุนมือจับไปทางซ้าย มือจับไม่สามารถเลื่อนขึ้นลง ไฟบอกสถานะจะแสดงว่าวาล์วเปิดหรือปิดอยู่
ปิดวาล์วโดยหมุนมือจับไปทางขวา วาล์วจะปิดสนิทเมื่อคุณไม่รู้สึกถึงแรงหมุนอีกต่อไป แรงซีลวาล์วที่มาจากสปริงมีความคงที่
คำอธิบายอุปกรณ์เสริมสินค้า
- เครื่องทำความร้อน
ทำความร้อนง่าย ๆ โดยใช้เทอร์มิสเตอร์ บอดี้วาล์วสามารถทำความร้อนได้ถึง 100°C หรือ 120°C แต่จะแตกต่างกันไปขึ้นอยู่กับขนาดวาล์ว ชนิดและจำนวนเทอร์มิสเตอร์ที่ใช้จะแตกต่างกันไปขึ้นอยู่กับขนาดและการตั้งค่าอุณหภูมิ - การแสดงสถานะ
เครื่องหมายสีส้มจะปรากฏขึ้นตรงกลางแผ่นป้ายชื่อเมื่อวาล์วเปิดอยู่
หมายเหตุ
- *วัสดุบอดี้คือ A6063 วัสดุเบลโลว์คือ SUS316L และวัสดุโลหะที่ใช้สำหรับชิ้นส่วนสุญญากาศอื่น ๆ คือ SUS304 วัสดุซีลมาตรฐานสำหรับชิ้นส่วนสุญญากาศคือ FKM แต่สามารถเลือกวัสดุอื่น ๆ ได้ (โปรดดูหัวข้อสัญลักษณ์รหัสสินค้า) ตรวจสอบให้แน่ใจว่าของไหลที่ใช้อยู่จะไม่ทำให้วัสดุที่เลือกเสียหาย
- *เมื่อใช้งานร่วมกับฮีทเตอร์ (เทอร์มิสเตอร์) ให้ติดตั้งอุปกรณ์เพื่อป้องกันความร้อนสูงเกินไป
- *ใช้ภายในช่วงความดันขณะใช้งาน
- *สำหรับแก๊สที่ก่อให้เกิดคราบสะสมจำนวนมากให้ทำความร้อนที่บอดี้วาล์ว หรือใช้ชนิดที่มีฮีทเตอร์เพื่อป้องกันการสะสมคราบในวาล์ว
- *โปรดดูแค็ตตาล็อกของผู้ผลิตสำหรับชิ้นส่วนอื่นนอกเหนือจากที่ระบุไว้ข้างต้น