ตัวปรับความดันความละเอียดสูงสำหรับใช้ในห้องคลีนรูมซีรีส์ SRP
แบรนด์ :
SMC
ข้อควรระวัง
- โปรดดูข้อมูลสเปคและวัสดุที่แคตาล็อก
- ภาพสินค้าเป็นเพียงภาพตัวอย่างเท่านั้น โปรดดูรายละเอียดเพิ่มเติมในแคตาล็อกของผู้ผลิต
รายละเอียดสินค้า
ตัวปรับความดันความละเอียดสูงสำหรับใช้ในห้องคลีนรูม ซีรีส์ SRP เป็นตัวควบคุมเหล็กกล้าไร้สนิมที่มีความแม่นยำสูงและใช้อัตราการไหลต่ำ
[คุณสมบัติ]
· ปริมาณการไล่ลม 0.5 ลิตร/นาที (ANR) หรือน้อยกว่า (ความดันปลายน้ำ 0.2 MPa)
· การตั้งค่าความไว: 0.3% F.S.
· ความสามารถในการทำซ้ำ: 1% F.S.
[การใช้งาน]
· การป้อนแรงดันของสารเคมี
· การเป่า N2
รายละเอียดของตัวปรับความดันความละเอียดสูงสำหรับใช้ในห้องคลีนรูม ซีรีส์ SRP
ภาพสินค้า (1) ตัวปรับความดันความละเอียดสูงสำหรับใช้ในห้องคลีนรูม ซีรีส์ SRP
ภาพสินค้า (2) ตัวปรับความดันความละเอียดสูงสำหรับใช้ในห้องคลีนรูม ซีรีส์ SRP
รายละเอียดจำเพาะของตัวปรับความดันความละเอียดสูงสำหรับใช้ในห้องคลีนรูม ซีรีส์ SRP
| เส้นผ่านศูนย์กลางพอร์ทเชื่อมต่อ | M5, Rc1/8, NPT1/8, G1/8 | |
|---|---|---|
| ของเหลวที่ใช้ได้ | อากาศ, N2, CO2, Ar | |
| ความดันที่รับได้สูงสุด (MPa) | 1.5 | |
| แรงดันใช้งานสูงสุด (MPa) | 1.0 | |
| ช่วงความดันควบคุม MPa | ประเภทความดันต่ำ | 0.005 ถึง 0.2 |
| ชนิดแรงดันสูง | 0.01 ถึง 0.4 | |
| อุณหภูมิแวดล้อมและอุณหภูมิของไหล (°C) | 0 ถึง 60 | |
| ปริมาณการใช้ของไหลลิตร/นาที (ANR)หมายเหตุ) | น้อยกว่า 0.5 | |
| ความไวแสง | 0.3% ของช่วงเต็ม | |
| ความสามารถในการทวนซ้ำ | ±1% ของช่วงเต็ม | |
| ชิ้นส่วนที่สัมผัสของไหล | โลหะ | SUS 316 |
| เรซิ่น | ฟลูออโรเรซิ่น | |
| ยาง | ยางฟลูออโร | |
| อื่น ๆ | เซรามิก | |
| สภาพแวดล้อมการประกอบ | ห้องคลีนรูม Class 10,000 | |
| การทำความสะอาดชิ้นส่วน | ชิ้นส่วนที่สัมผัสน้ำทั้งหมดจะล้างน้ำมันออก | |
- หมายเหตุ) ที่ความดันที่ตั้งค่าไว้ 0.2 MPa
อุปกรณ์เสริม (ตัวยึด)
| รุ่น | วัสดุ |
|---|---|
| B21-1-T1 | เหล็กแผ่นรีด (ชุบนิกเกิลโดยไม่ใช้ไฟฟ้า) |
อุปกรณ์เสริม (เกจวัดความดัน)
| รหัสสินค้า | รหัสสินค้าของเกจวัดความดัน |
|---|---|
| SRP1*** - M5 | IN-233-863 + G46-□-01M-SRB |
| SRP1*** - 01 | G46-□-01-SRB |
สัญลักษณ์หมายเลขรุ่น
ตัวอย่างหมายเลขรุ่น
แผนภาพ
แผนภาพของตัวปรับความดันความละเอียดสูงสำหรับใช้ในห้องคลีนรูม ซีรีส์ SRP
ชิ้นส่วนประกอบ
| หมายเลข | Part name | วัสดุ | กการเคลือบผิว |
|---|---|---|---|
| 1 | ตัวเครื่อง | SUS316L | — |
| 2 | ไกด์วาล์ว | SUS 316 | — |
| 3 | สเปสเซอร์ | PPS | — |
| 4 | ฝาครอบ | PPS | — |
| 5 | ลูกบิด | PBT | — |
| 6 | ชุดนัท | ZDC | ชุบนิกเกิลแบบไม่ใช้ไฟฟ้า |
| 7 | สปริงวาล์ว | SUS 316 | — |
| 8 | วาล์วหลัก | เซรามิก | — |
| 9 | ฐานวาล์ว | PTFE | — |
| 10 | โอริง | ยางฟลูออโร | — |
| 11 | ชนิดไดอะแฟรม | ยางฟลูออโร | — |
| 12 | ปะเก็น | ยางฟลูออโร | — |
| 13 | สกรูปรับระดับ | ขดลวดเหล็กกล้า | — |
| 14 | การปรับชุดสกรู | — | — |
ขนาดของตัวปรับความดันความละเอียดสูงสำหรับใช้ในห้องคลีนรูม ซีรีส์ SRP
สเปค มาตรฐาน
(หน่วย: มม.)