สวิตช์ยังสามารถรักษาระดับแรงดันสุญญากาศได้สูง

สวิตช์แบบสัมผัส 10^-5 Pa สำหรับ Class สุญญากาศระดับสูง
[คุณสมบัติ]
· สวิตช์กำหนดตำแหน่งเฉพาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีความเป็นสุญญากาศสูง ผลิตขึ้นด้วยชิ้นส่วนที่เข้ากันได้กับแก๊สต่ำเท่านั้น
[การใช้งาน]
· สำหรับตรวจจับการมีอยู่ของแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ในห้องสุญญากาศ
· สำหรับการกำหนดตำแหน่งซับสเตรทแก้วในระบบสะสมสุญญากาศและระบบสุญญากาศพลังงานแสง (PV)
· สำหรับการกำหนดตำแหน่งซับสเตรทแก้วในระบบสะสมสูญญากาศสำหรับ FPD การตรวจจับการวางถาดมาสก์ และการเรียกคืนจุดกำเนิดตัวพา
· สินค้านี้มีการนำไปใช้โดยผู้ผลิตอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์รายใหญ่ทีละรายเพิ่มขึ้นเรื่อย ๆ