(!) เนื่องจาก Microsoft จะหยุดให้การสนับสนุนระบบปฏิบัติการ Windows 7 ตั้งแต่วันที่ 14 มกราคม 2563 และอาจส่งผลให้ผู้ใช้ระบบปฏิบัติการ Windows 7 ไม่สามารถใช้งานเว็บไซต์มิซูมิได้อย่างสมบูรณ์ กรุณาอัพเดทระบบและบราวเซอร์ตามเงื่อนไขระบบที่รองรับมิซูมิเว็บไซต์
เลือกรหัสสินค้าเพื่อสั่งซื้อทันที/ ใส่ในรถเข็น
วาล์วมุมสูงสุญญากาศ (ทรงตัว L ) สำหรับหยุดการทำงานปั๊มเมื่อทำงานเกินพิกัด
[คุณสมบัติ]
· วาล์วระบายลมเริ่มต้นและวาล์วระบายลมหลักอยู่รวมกัน (วาล์วควบคุมอัตราการไหลแบบสองขั้นตอน)
· รองรับกับดีไซน์ระบบกะทัดรัดและลดการใช้ท่อ
· ป้องกันการรบกวนจากฝุ่นภายในห้องเมื่อเกิดไอเสีย
· วาล์วระบายลมเริ่มต้นปรับอัตราการไหลได้
· วาล์วโซลินอยด์ชนิดใช้ลม
· ปล่อยก๊าซระดับต่ำ สามารถใช้ได้กับปั๊มขนาดเล็กและช่วยลดจำนวนครั้งในการปล่อยไอเสีย
· ไม่มีโลหะหนักเช่น Ni (นิกเกิล) หรือ Cr (โครเมี่ยม)
· อัตราการสปัตเตอร์ต่ำช่วยลดการปนเปื้อนของโลหะหนักในแผ่นเวเฟอร์
ลักษณะภายนอกของซีรีส์ XLDV
ทิศทางพอร์ตการทำงานของซีรีส์ XLDV
รุ่น | XLD (V) - 25 | XLD (V) - 40 | XLD (V) - 50 | XLD (V) - 63 | XLD (V) - 80 | |
---|---|---|---|---|---|---|
ประเภทวาล์ว | ปิดตลอดเวลา (สปริงย้อนกลับและซีล) (ทั้งวาล์วระบายหลักและวาล์วระบายขั้นต้น) | |||||
ของเหลว | สุญญากาศแก๊สเฉื่อย | |||||
อุณหภูมิใช้งาน ( °C) | XLDV | 5 ถึง 60 (5 ถึง 150 สำหรับชนิดอุณหภูมิสูง) | ||||
5 ถึง 50 | ||||||
ความดันขณะใช้งาน Pa (abs) | 1 × 10-6 ถึงความดันบรรยากาศ | |||||
Conductance L/sหมายเหตุ 1: | วาล์วระบายหลัก | 14 | 45 | 80 | 160 | 200 |
วาล์วระบายขั้นต้น | 0.5 ถึง 3 | 2 ถึง 8 | 2.5 ถึง 11 | 4 ถึง 18 | 4 ถึง 18 | |
ปริมาณการรั่วไหล Pa·m3/s | ภายใน | สำหรับวัสดุมาตรฐาน (FKM): 1.3 × 10-10, ค่าที่อุณหภูมิปกติและไม่รวมการซึมผ่านของแก๊ส | ||||
ภายนอก | สำหรับวัสดุมาตรฐาน (FKM): 1.3 × 10-11, ค่าที่อุณหภูมิปกติและไม่รวมการซึมผ่านของแก๊ส | |||||
ชนิดหน้าแปลน | KF (NW) | KF (NW)/ K (DN) | ||||
วัสดุหลัก หมายเหตุ 3: | บอดี้หลัก: อลูมิเนียมอัลลอย, เบลโลว์: SUS316L, ชิ้นส่วนหลัก: สแตนเลส, FKM (วัสดุซีลมาตรฐาน) | |||||
กระบวนการชุบผิว | ภายนอก: อลูมิเนียมชุบฮาร์ดอโนไดซ์, ภายใน: วัสดุฐาน | |||||
ความดันไพล็อต MPa (G) | 0.4 ถึง 0.7 (ทั้งวาล์วระบายหลักและวาล์วระบายขั้นต้น) | |||||
เส้นผ่านศูนย์กลางพอร์ทเชื่อมต่อพอร์ทไพล็อต | XLDV | M5: 1 (P), 3 (R) พอร์ต | ||||
น้ำหนัก (กก.) | XLDV | 0.57 | 1.3 | 1.9 | 3.5 | 5.7 |
หมายเหตุ 1: Conductance ของวาล์วระบายหลักคือค่า "การไหลของโมเลกุล" ของข้องอที่มีขนาดเท่ากัน Conductance ของวาล์วระบายขั้นต้นคือค่า "การไหลหนืด"
หมายเหตุ 2: สำหรับรายละเอียดจำเพาะของวาล์วฮีทเตอร์โปรดดู "อุปกรณ์เสริมฮีทเตอร์ (1) ทั่วไป" ในแค็ตตาล็อกของผู้ผลิต
หมายเหตุ 3: มีการเคลือบผิวด้วยจาระบีสุญญากาศ (Y-VAC2) กับส่วนวัสดุซีลที่เลื่อนได้ (ส่วนเลื่อนวาล์วระบายขั้นต้น) ของชิ้นส่วนสุญญากาศ
(หน่วย: มม.)
Drawing ระบุขนาดชนิด XLDV-25 มีโซลินอยด์วาล์ว
Drawing ระบุขนาดชนิด XLDV-40, XLDV-50, XLDV-63, XLDV-80 มีโซลินอยด์วาล์ว
รุ่น | A | B | C | Fn | Fd | G | M | N | K |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
XLDV-40 | 65 | 170 | 66 | 55 | — | 41 | 48.5 | 53.5 | 15 |
XLDV-50 | 70 | 183 | 79 | 75 | — | 52 | 55 | 57.5 | 17.5 |
XLDV-63 | 88 | 217 | 100 | 87 | 95 | 70 | 66.5 | 72.2 | 20 |
XLDV-80 | 90 | 256 | 117 | 114 | 110 | 83 | 75 | 82.6 | 26.5 |
รหัสสินค้า |
---|
XLDV-25K-M9NA-5GU |
รหัสสินค้า | ราคา | ชื่อสินค้า | จำนวนคำสั่งซื้อขั้นต่ำ | ส่วนลดปริมาณ | วันจัดส่ง | ชนิดหน้าแปลน | หน้าแปลน ขนาดเกลียว | แรงดันไฟฟ้า | การนำไฟฟ้าความเร็วโซนิค | ทิศทาง พอร์ตเชื่อมต่อ ไพล็อต | สวิตช์ รหัสรุ่น/ Part number | จำนวน สวิตช์ | วัสดุ ซีล | ปริมาณการรั่วไหล (Pa · ลบ.ม. / วินาที) | วิธีการทางไฟฟ้า | ตัวป้องกันแรงดันไฟ / ไฟกระชาก | กระบวนการเตรียมผิว ตัวเครื่อง | ตำแหน่งการเปลี่ยน ซีล | ทำเครื่องหมาย CE- | ความยาวของ ขดลวด สายนำไฟฟ้า สำหรับ สวิตช์ (ม.) |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
฿ 11,972.80 | SMC VACUUM VALVE | 1 ชิ้น | 55 วัน | KF | 25 | 24 V DC | 14L/S | พื้นผิวหน้าแปลน, ด้านซ้าย | M9N | มี 2 ชิ้น (ตำแหน่งการตรวจจับ: การเปิดและปิดวาล์ว) | FKM (หมายเลขสูตร: 1349-80) | ภายใน: 1.3 × 10^-10 ภายนอก: 1.3 × 10^-11 | Grommet (สายไฟ) (ความยาวของสายไฟ: 300 มม.) | มีไฟแสดงสถานะและตัวป้องกันแรงดันไฟกระชาก (ชนิดไม่มีขั้ว) | ภายนอก: อลูมิเนียมชุบฮาร์ดอโนไดซ์, ภายใน: วัสดุฐาน | ซีลวาล์ว / ซีลภายนอก / ชุดประกอบซีลวาล์ว S / โอริงสำหรับยึด | ไม่รองรับการใช้งาน | 0.5 |
กำลังโหลด …
ชนิด | โซลินอยด์ สุญญากาศ สูง | การใช้งาน | ใช้ครั้งเดียว | ทิศทางการติดตั้ง | โดยตรง |
---|---|---|---|---|---|
จำนวนพอร์ต | 2- วาล์ว | ประเภทโซลินอยด์ | เดียว | ประเภทการสลับ | 2- ตำแหน่ง วาล์วปรกติปิด |
ลักษณะการขับเคลื่อน | ดำเนินการโดยตรง | ประเภท พอร์ตเชื่อมต่อ ท่อเหล็ก | หน้าแปลน | ประเภท ซีล | เบลโลว์ ซีล |
ข้อเสนอแนะในการปรับปรุง
ข้อเสนอแนะในการปรับปรุง